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半導(dǎo)體集成電路晶圓退火系統(tǒng)
極細(xì)線光斑、超高能量密度
模塊化設(shè)計、易于維護(hù)
完善的安全監(jiān)控保護(hù)系統(tǒng)
適配多種外置傳感器
適用于多種半導(dǎo)體晶圓退火工藝需求
技術(shù)指標(biāo)
產(chǎn)品型號
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產(chǎn)品代碼
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輸出功率
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光斑尺寸
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功率穩(wěn)定性
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光斑長度均勻性
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光斑寬度穩(wěn)定性
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下載 |
|---|
| FL-DLight-S1500A | (Typical Customization) | 1500 W | 12 mm (top-hat) x 70 μm (gaussian) | > 98 % | ≥ 95 % | ± 1 μm |
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應(yīng)用領(lǐng)域
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股票代碼 688167 
始終處于活動狀態(tài)
體制程.jpg "泛半導(dǎo)體制程設(shè)備")